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MCE和MCV系列质量流量控制器用精确的压力控制改善真空镀膜效果

发布日期:2016-10-31文章分类:应用案例作者:艾里卡特-豪迈子公司

MCE和MCV系列质量流量控制器用精确的压力控制改善真空镀膜效果

艾里卡特的MCE和MCV系列质量流量控制器打造真空室内的最佳镀膜环境,确保在镀膜和溅射工艺中保持器件的完整性。产品按照通用的工业质量流量控制器尺寸设计,易于集成在现有系统中,可取代传统的和已停产的MKS设备。使用时可快速、精确地控制流量,保障工艺均匀性和工序质量。

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