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MCE和MCV系列质量流量控制器用精确的压力控制改善真空镀膜效果

发布日期:2016-10-31作者:艾里卡特-豪迈子公司阅读 199赞 0

质量流量计品牌——艾里卡特科技有限公司(alicat.com.cn)的质量流量控制器打造真空室内最佳镀膜环境,确保在镀膜和溅射工艺中保持器件的完整性。MCE系列和MCV系列质量流量控制器可取代传统的和已停产的MKS设备,产品按照通用的工业质量流量控制器尺寸设计,易于集成在现有系统中。在使用时,MCE系列和MCV系列质量流量控制器可快速、精确地控制流量,从而保障工艺均匀性和工序质量。

MCE和MCV系列质量流量控制器艾里卡特的MCE系列和MCV系列质量流量控制器。

艾里卡特的MCE系列和MCV系列质量流量控制器以50~100毫秒的控制响应速度精确地控制气体流量,量程范围为0-0.5 sccm(满量程)至0-20 slpm(满量程)。快速的控制响应可以大大改善真空镀膜最终产品质量,并且有助于消除靶中毒。集成式气动切断阀为常闭状态,可提供氦气泄漏率仅为1 x 10-9 atm-sccm/s的正向切断。

MCE系列质量流量控制器用于取代MKS传统型号1179A Mass-Flo®,而MCV系列质量流量控制器则用于取代MKS已停产的型号2179A Mass-Flo®。艾里卡特的质量流量控制器均采用12-30伏通用电源适配器供电,其通讯接口可与所有现有的9针或15针D-sub引脚相匹配,以便用户进行替换。此外,艾里卡特的质量流量控制器可被任意方向安装,甚至倒置,无需再次校准,因此大大简化了安装过程。

预设了98种常用气体的MCE系列和MCV系列质量流量控制器内预设了98种可以测量质量流量、体积流量、以及绝对压力和温度,并自带温度和压力补偿功能。用户可通过质量流量控制器自带的显示屏接输入设定值,也可通过RS-232(或RS-485)串口通讯进行远程设定。

MCE系列和MCV系列质量流量控制器采用了艾里卡特专利的层流压差技术,具有NIST可溯源校准证书以及CE认证。

艾里卡特公司简介:
艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.)是全球最快的质量流量计、质量流量控制器和压力控制器生产商。公司的设备响应速度低至4毫秒,提供快捷的交货、全方位用户支持,所有设备 NIST 可溯源及有条件的终身质保。从科研、计量、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造到各种过程工艺气体测量与控制,艾里卡特始终致力于为全球不同行业提供创新的流量与压力解决方案。

艾里卡特是英国豪迈(Halma)的子公司,隶属于豪迈的环境与分析事业部。1894年创立的英国豪迈如今是安全、医疗、环保产业的跨国投资集团,伦敦证券交易所的上市公司,富时指数的成分股,连续37年股息分红增幅超过5%。集团在全球有雇员5000多名,子公司近50家,中国的代表处设在上海、北京、广州、成都和沈阳等城市,且在多地建有研发或生产基地。欢迎关注豪迈的官方微博(weibo.com/halma)和微信(HALMACHINA)。

业务合作联系人:
李成杰(Jerry Li)
艾里卡特科技有限公司 中国区经理
电话:021-60167680
邮件:jli@alicatscientific.com

媒体合作联系人:
Lucas Lu
英国豪迈中国区 公共关系经理
电话:021-60167667
邮件:lucas.lu@halma.cn


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